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URE-2000A/55自动对准移动掩模光刻机
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发布日期：2020-05-20
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详细介绍

自动对准移动掩模光刻机

型号：URE-2000A/55

主要技术指标：

曝光面积：Ф100mm

分辨力：0.05μm

对准精度： ≤±0.5μm

最大胶厚：

掩模尺寸:5 inch

样片尺寸：直径Ф30mm-- Ф150mm

照明均匀性：±3%

汞灯功率：1000W（直流）

掩模相对于样片运动行程：±8mm


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