TYG-2000/T1步进投影光刻机

曝光场面积：10mm×10mm

分辨力：1μm；

照明不均匀性：±2%

物镜倍率：5倍(缩小)

光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线）

基片尺寸：3 英寸 、4 英寸

工件台运动范围：X：>150mm、 Y：>150mm；

工件台运动定位精度：±0.65μm

调焦台运动灵敏度：1μm

对准精度：±0.5μm

调焦台运动行程：5mm

检焦：CCD检测，检测精度0.5微米

转动台行程：±4°以上

基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适应非标准片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm

主要技术配置：

（1）照明系统：冷光椭球镜; 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗); XYZ汞灯调节台; 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2; 冷却风扇

（2）工件台系统：X台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅（美国） Y台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅2（美国） 转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系 调平台：电机及驱动器（3套）、调平机构 Z台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构; 承片台：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）

（3）检焦系统：焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件

（4）对准系统：对准光学检测系统（2套）、CCD（2套）、对准软件

（5）电控系统：汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、显示器、接口

（6）其他部件：底座 减震器（4个);控制柜桌;气动系统;电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

（7）其他附件：真空泵一台(无油泵);空压机一台（静音泵）;管道