GJTJ-3A机械式三维工件台

1.技术参数

l X向行程：100mm并可定制

l Y向行程：100mm并可定制

l Z向行程：100mm并可定制

l 重复定位精度：±500nm（±3σ）

l 分辨力：100nm

l 直线性：3″到5″

l 正交性；5″

2.配置

（1）机械系统

l 电机3个：日本乐孜步进电机（伺服电机可选）

l 丝杠3根：日本THK公司产品

l 导轨6根：日本THK公司产品

l 光栅3根：美国Micro-E产品（分辨力50nm，带零位光栅）

l 多自由度光栅读数头调整座3个

l 轴承9个（零级）

l 轴承座6个

l 电机座3个

l 工作台面：航空超硬铝（7050）

l X向导轨座：航空超硬铝（7050）

l Y向导轨座：航空超硬铝（7050）

l Z向导轨座：航空超硬铝（7050）

l 联轴器3个：日本NBK公司产品

l 限位开关6个

l 球头带动结构3套

l 调整手轮3个

（2）电控系统

l 多轴运动控制板

l 通用RS-232通讯接口

l 高细分、低振动步进电机驱动器

l 模块化开关电源适配器

l 高精度零位测控系统

l 高精度光栅计数测量系统

l 高可靠软硬件限位保护系统

l 抗干扰、高可靠复位电路系统

l 便携式手提控制箱

l 采用屏蔽双绞线缆，有效抑制静电感应及电磁感应干扰。

（3）软件系统

l 人性化计算机控制界面程序（提供安装光盘，可定制）

l 高精度位置伺服复合控制程序