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真空镀膜机/TBP1002 型柱塞泵/TBP1010 型柱塞泵/TBP5002 型柱塞泵/TBP5010 型柱塞泵/TBP2H02 型柱塞泵/TBP2H10 型柱塞泵/TBP5H02 型柱塞泵/TBP1T02 型柱塞泵/Grad10 型梯度泵/Grad50 型梯度泵/Grad200 型梯度泵/TBP1002T 型柱塞泵/TBP1010T 型柱塞泵/TBP5002T 型柱塞泵/TBP5010T 型柱塞泵/TBP2H02T 型柱塞泵/TBP2H10T 型柱塞泵/TBP1002K 型柱塞泵/TBP5002K 型柱塞泵/TBP2H02K 型柱塞泵/Flash 100 型柱塞泵/Flash 200 型柱塞泵/Flash 300型柱塞泵/



小型高頻濺射裝置

RFS-200
靶材尺寸 φ80 厚度1-5mm
真空室 200mm(長)×250mm(寬)×150mm(高）
SUS・304制 前面開門
基板電極 φ80 Cu制 加熱。冷卻式
靶電極 φ80 Cu制 冷卻
擋板 φ95 厚度1mm 手動操作
RF電源 200W×13.56MHz 帶與RF電源匹配的電路
基板加熱電源 管加熱器加熱自動溫調 MAX350℃
溫度指示計 (數字型)
排氣系統 F-250油擴散泵（240L/sec）
油旋片真空泵G-100D（100L/min）
主閥2。5英寸蝶閥
水冷閥 三向切換閥 皮拉尼真空計(數字型２點式)
本體尺寸
 800mm(長)×630mm(寬)×1450mm(高）
重量 200kg
電力 100V　1φ　1.3kVA
RF電力 100V　1φ　0.5kVA
冷卻水用量 0.2MPa　5L/min　25℃以下
選購件 液氨冷阱、磁控管、電離真空計、追加氣體導入、排氣口過濾器、基板加熱650C

性能

極限壓力 6.7 X 10-4
排氣時間 10-3Pa/5min
基板加熱溫度 MAX350℃
濺射壓力 10-1Pa Ar氣體
靶材 導體
半導體
絕緣體		 Al、Cu、Au、Cr 等
Si、Ge、Se 等
SiO2、Al2O3 等　


*可選擇渦輪分子泵、渦選型幹泵 情聞訊。


小型磁控管濺射裝置

SCOTT-C1

基板尺寸 數量 φ4英寸 （φ100mm）× t ＝1mm、1個
有效成膜範圍 φ50mm
RF電源 Max 300W（40〜300W可變）
成膜速度 SiO2成膜時、大于30nm/min
膜厚分布 SiO2成膜時、50mm+-10%以內
真空室極限壓力 6.6 X 10-4
排氣時間 5分鍾內從大氣壓抽至6。6 X 10-3Pa
基板加熱溫度 Max 350℃(水冷)
基板電極間距離 60mm
外形尺寸
 1120mm(長)×704mm(寬)×1262mm(高）
裝置重量 約500kg
消耗電量 1φ100V（50/60Hz）3.0kVA
消耗水量 約8L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)
蝕刻分布 用酸化膜磈片時、70mm+-10%以內
選購件 追加氣體導入、質量流量控制器、基板加熱600C (水冷)、DC電源


    SCOTT-C3

基板尺寸 數量 φ2英寸 （φ50.8mm）× t ＝1mm、1個
有效成膜範圍 φ25mm
RF電源 Max 300W（40〜300W可變）
成膜速度 SiO2成膜時、大于30nm/min
膜厚分布 SiO2成膜時、25mm+-10%以內
真空室極限壓力 6.6 X 10-4
排氣時間 5分鍾內從大氣壓抽至6。6 X 10-3Pa
基板加熱溫度 Max 350℃(基板水冷機構:無)
基板動作 手動調節 3點指標旋轉 (約300度角)
基板電極間距離 50mm〜90mm（可變：半固定）
外形尺寸
 1100mm(長)×700mm(寬)×1070mm(高）
裝置重量 約400kg
消耗電量 1φ100V（50/60Hz）3.0kVA
消耗水量 2L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)
選購件 刻蝕機構 (洗淨)、追加氣體導入、質量流量控制器、
基板加熱350C (水冷) 600C無水冷、DC電源

超小型離子濺射裝置

VPS-020
標准靶材 φ49 Au 1個 (鍍膜用)
φ49 Al 1個1個 (刻蝕用)
試料台 φ70(高度調節範圍15mm、20mm、60mm)
真空槽 φ120 (深度120mm) 不鏽鋼制
油旋片泵 G-20DA型（20L/min）
高壓電源 1kV/0〜20mA(帶電流計、內置安全電路)
鍍膜方式 AC/DC
刻蝕方式 AC/DC
時間 0〜15min、連續可變
氣體調節機構 針閥
電源 100V１φ0.4kVA
重量 8.5kg
外形尺寸 160mm(長)×365mm(奥行)×317mm(高)
選購件 1．靶材 Pt-Pd、Ag 其他
2．油霧過濾器(OMT-050A)
*請根據用途挑選選購件

VPS-050
標准靶材 φ109 Au 1個 (鍍膜用)
φ109 Al 1個1個 (刻蝕用)
試料台 φ100(高度調節範圍15mm、20mm、60mm)
真空槽 φ240 (深度120mm) 不鏽鋼制
油旋片泵 G-100D型（100L/min）　選購件
高壓電源 1kV/0〜20mA(帶電流計、內置安全電路)
鍍膜方式 AC/DC
刻蝕方式 AC/DC
時間 0〜15min、連續可變
氣體調節機構 針閥
電源 100V１φ0.5kVA
重量 20kg
外形尺寸 282mm(長)×485mm(奥行)×440mm(高)
選購件 1．靶材 AU、 Pt-Pd、Ag 其他
2．油霧過濾器(OMT-050A)
*請根據用途挑選選購件

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