| URE-2000D型大面积紫外光刻机/URE-2000S/A型光刻机/URE-2000S/25型单、双面光刻机/硅片甩干机/真空镀膜机/URE-2000A型光刻机/URE-2000B型光刻机/URE-2000/35型光刻机/URE-2000/25型光刻机/URE-2000/17型光刻机/显影机(显影台)/KW-4A型匀胶机/KW-5型匀胶机/ |

用途:在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。
技术特点:
1、采用3500W直流高压汞灯;
2、采用蝇眼透镜实现高均匀照明;
3、实现超大面积光刻;
4、采用CCD自动对准,自动化程度高;
5、性能可靠、操作方便。
主要技术指标:
曝光面积:430 mm×430 mm;
分辨力:3μm;
对准精度:≤±1μm ;
掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;
照明均匀性:±10%(430 mm×430 mm范围);
掩模相对于样片运动行程:X: ±6mm; Y: ±6mm; θ: ±6度;
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