| URE-2000S/25型单、双面光刻机/硅片甩干机/真空镀膜机/URE-2000A型光刻机/URE-2000B型光刻机/URE-2000/35型光刻机/URE-2000/25型光刻机/URE-2000/17型光刻机/显影机(显影台)/KW-4A型匀胶机/KW-5型匀胶机/ |
1.技术参数
¨曝光面积:
¨对准精度:±
¨掩模尺寸:
¨样片尺寸:直径f
¨照明均匀性: ±4%(f
¨掩模相对于样片运动行程:X: ±
¨汞灯功率:350W(直流)¨曝光方式:定时(到计时方式)
2.外形尺寸:
3.配置
(1)曝光头
¨冷光椭球镜 ¨350 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗) ¨XYZ汞灯调节台
¨光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(77个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2 ¨冷却风扇
(2)对准工件台
¨掩模样片整体运动台 ¨掩模样片相对运动台 ¨转动台 ¨样片调平机构,自动完成
¨样片调焦机构,气缸自动调 ¨承片台3个(满足Ø
¨掩模抽拉式上下机构
(3)双目双视场对准显微镜(可以选择带CCD型,目镜和监视器可同时观测)
¨光源、光纤、LED(配备品2只)、电源 ¨双目双视场对准显微镜主体
¨目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)¨物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)
¨CCD光学系统(选配件)
(4)底面CCD对准系统
¨光源、光纤、LED(配备品3只)、电源 ¨成像光学系统 ¨数据采集卡 ¨CCD
(5)电控系统
¨汞灯触发电源(350W直流汞灯) ¨单片机控制系统 ¨控制柜桌 ¨计算机系统
(6)气动系统
¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 ¨电磁阀驱动 ¨气动仪表
(7)其他附件
¨真空泵一台 ¨空压机一台 ¨管道
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