| URE-2000D型大面积紫外光刻机/URE-2000S/A型光刻机/URE-2000S/25型单、双面光刻机/硅片甩干机/真空镀膜机/URE-2000A型光刻机/URE-2000B型光刻机/URE-2000/35型光刻机/URE-2000/25型光刻机/URE-2000/17型光刻机/显影机(显影台)/KW-4A型匀胶机/KW-5型匀胶机/ |
用途：在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。
技术特点：
1、采用3500W直流高压汞灯；
2、采用蝇眼透镜实现高均匀照明；
3、实现超大面积光刻；
4、采用CCD自动对准，自动化程度高；
5、性能可靠、操作方便。
主要技术指标：
曝光面积：430 mm×430 mm；
分辨力：3μm；
对准精度：≤±1μm ；
掩模尺寸：16英寸、17英寸、18英寸、20英寸；
照明均匀性：±10%（430 mm×430 mm范围）；
掩模相对于样片运动行程：X: ±6mm; Y: ±6mm; θ: ±6度；
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