半导体设备

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URE-2000S/25型单、双面光刻机

1．技术参数

¨曝光面积：150 mm×150mm ¨分辨力：1.5mm（胶厚2 mm的正胶）

¨对准精度：±2.5mm（双面，片厚0.8mm），±0.8mm（单面）

¨掩模尺寸：4英寸、5英寸，7寸

¨样片尺寸：直径f30mm--f150mm,厚度0.1mm--8mm

¨照明均匀性： ±4%（f100mm 范围）±7%（f150 mm范围）

¨掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度

¨汞灯功率：350W（直流）¨曝光方式：定时（到计时方式）

2．外形尺寸：1300mm（长）´900mm(宽) ´1800mm（高）

3．配置

（1）曝光头

¨冷光椭球镜 ¨350 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗) ¨XYZ汞灯调节台

¨光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（77个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2 ¨冷却风扇

（2）对准工件台

¨掩模样片整体运动台 ¨掩模样片相对运动台 ¨转动台 ¨样片调平机构,自动完成

¨样片调焦机构，气缸自动调 ¨承片台3个（满足Ø30mm-Ø150mm）掩模夹3个（4英寸、5英寸，7寸）

¨掩模抽拉式上下机构

（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带CCD型，目镜和监视器可同时观测）

¨光源、光纤、LED（配备品2只）、电源 ¨双目双视场对准显微镜主体

¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

¨CCD光学系统（选配件）

（4）底面CCD对准系统

¨光源、光纤、LED（配备品3只）、电源 ¨成像光学系统 ¨数据采集卡 ¨CCD

（5）电控系统

¨汞灯触发电源(350W直流汞灯) ¨单片机控制系统 ¨控制柜桌 ¨计算机系统

（6）气动系统

¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 ¨电磁阀驱动 ¨气动仪表

（7）其他附件

¨真空泵一台 ¨空压机一台 ¨管道